基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法

成果基本信息
关键词：	芯片;系统技术;微机电系统;其制备方法;密度传感器;引线
成果类别：		技术成熟度：
体现形式（基础理论类）：		体现形式（应用技术类）：	无
成果登记号：	9612016Y1333	资源采集日期：	2017-02-20

研究情况
单位名称：	西安交通大学	技术水平：
评价证书号：		评价单位：
评价日期：		评价证书号：

转化情况
转让范围：		推广形式：	无
已转让企业数（个）：	0

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
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成果简介
本发明公开一种基于微机电系统技术的悬臂梁式密度传感器芯片及其制备方法，所述芯片为采用基于振动原理的梯形硅微悬臂梁结构，引线采用钛-铂-金梁式引线，增设钛-铂-金梁式飞线，采用梯形结构具有高灵敏度的优点，采用钛-铂-金梁式引线，和现有技术铝质引线相比具有耐腐蚀、耐高温、发热量小等优点，采用钛-铂-金飞线，实现引线的单入单出，保证了引线内电流处处相等，从而保证了其放入磁场后在整个MEMS振动悬臂梁芯片的磁场力均匀分布。

成果名称：	基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法	关键词：	芯片;系统技术;微机电系统;其制备方法;密度传感器;引线
成果类别：		一级分类名称：	机械制造
二级分类名称：	仪器仪表技术	三级分类名称：	传感器
研究起止时间：	2007.12 至2009.12	成果体现形式（应用技术类）：	无
成果属性：		成果体现形式（基础理论类）：
技术成熟度：		技术水平：
研究形式：		学科分类1：
单位名称：	西安交通大学	学科分类2：
中图分类号1：		所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：
应用行业：		课题立项名称：
国家科技计划子类别：		课题立项编号：
经费实际投入额（万元）：	0.00	评价单位：
评价形式：	无	应用状态：	无
评价日期：		转让范围：
评价证书号：		推荐单位：
推广形式：	无	成果登记号：	9612016Y1333
成果简介：	本发明公开一种基于微机电系统技术的悬臂梁式密度传感器芯片及其制备方法，所述芯片为采用基于振动原理的梯形硅微悬臂梁结构，引线采用钛-铂-金梁式引线，增设钛-铂-金梁式飞线，采用梯形结构具有高灵敏度的优点，采用钛-铂-金梁式引线，和现有技术铝质引线相比具有耐腐蚀、耐高温、发热量小等优点，采用钛-铂-金飞线，实现引线的单入单出，保证了引线内电流处处相等，从而保证了其放入磁场后在整个MEMS振动悬臂梁芯片的磁场力均匀分布。
联系人：	赵立波	成果登记日期：	2016-10-12
联系人email：		单位代码：	96100031
邮政编码222：	710049	联系人电话：	029-82668382
单位传真：	029-83234772	单位通讯地址：	陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
单位所在省市：		单位电话：	029-82668234;82668338;82668382
转让收入（万元）：	0	单位属性：
合作完成单位：		已转让企业数（个）：	0
成果发布年份：	2016	知识产权形式：
成果完成人：	赵立波;黄恩泽;蒋庄德;刘志刚	资源采集日期：	2017-02-20

基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法

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