基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制

成果基本信息
关键词：	葡萄糖传感器;硅微通道板;;葡萄糖检测
成果类别：		技术成熟度：
体现形式（基础理论类）：		体现形式（应用技术类）：	无
成果登记号：	9232016J0981	资源采集日期：	2017-02-20

研究情况
单位名称：	齐齐哈尔大学	技术水平：
评价证书号：		评价单位：	黑龙江省教育厅
评价日期：	2013.12.24	评价证书号：

转化情况
转让范围：		推广形式：	无
已转让企业数（个）：	0

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
*成果单位详细联系方式请登录会员；还不是会员，马上注册!

成果简介
齐齐哈尔大学苗凤娟的基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制项目采用微电子机械加工技术，以硅基材料为基础，结合传统IC工艺技术，寻找到了一种高选择性、高敏感性、高可靠性、反应迅速、低成本的硅基可集成微型MEMS葡萄糖传感器的制作方法。通过电化学深刻蚀技术作出形状规则和具有较大深宽比的硅微通道（MCP， microchannel plate）阵列，并且结合微通道制作的自分离技术获得三维的壳层结构；以其为支撑骨架，通过无电镀技术将金属镍、钯均匀地沉积于微通道的内壁上，制备出三维Ni-Pd/Si-MCP结构一体化葡萄糖催化氧化电极，该结构的深、宽比可高达50∶1，可以提供较传统平面衬底高出几个数量级的表面积，使电解液更容易与活性物质相接触，更容易进行电荷交换，产生较大的氧化电流；利用该微纳结构复合材料电极组装葡萄糖传感器样机进行封装测试。测试显示该传感器对葡萄糖检测具有较高的灵敏度。　　齐齐哈尔大学苗凤娟的基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制项目通过电化学硅微加工技术探索利用硅基微通道复合电极材料构建新型微纳葡萄糖传感器件，涉及硅微加工、低维半导体异质结、无电镀、电化学、纳米技术和传感器技术等领域。研究关键是利用与IC工艺兼容的无电镀技术和电化学湿法刻蚀技术，在体硅表面制备形状规则的Si-MCP阵列，通过无电镀共沉积和快速热退火工艺制备Pd-Ni/Si-MCP（钯-镍/硅微通道）葡萄糖催化氧化阳极和Pd-NiO-Ni/Si-MCP（钯-金属氧化物/硅微通道）氧还原阴极，最后组装高效葡萄糖传感器。该结构传感器通过综合利用电极纳米尺寸、热电和超级电容器效应，来提高电极催化效率、启动速度和功率密度等性能。　　齐齐哈尔大学苗凤娟的基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制项目有效结合集成电路工艺、硅微加工技术、纳米复合材料催化电极制备和电化学技术，把低维半导体异质结理论应用到溶液/电极接触层电荷迁移与电极催化性能分析中。为新型高效葡萄糖传感器一体化催化电极制备和催化新能分析提供研究思路和理论与实践案例。项目资助期间相关研究成果已经公开发表论文17篇，其中SCI收录论文10篇，中文核心论文7篇。申请专利13项，其中已获授权发明专利1项，获授权实用新型专利12项。获得国家自然科学基金青年基金项目1项，获得黑龙江省普通高校新世纪优秀人才培养计划项目1项。

成果名称：	基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制	关键词：	葡萄糖传感器;硅微通道板;;葡萄糖检测
成果类别：		一级分类名称：	机械制造
二级分类名称：	仪器仪表技术	三级分类名称：	传感器
研究起止时间：	2012.01 至2013.12	成果体现形式（应用技术类）：	无
成果属性：		成果体现形式（基础理论类）：
技术成熟度：		技术水平：
研究形式：		学科分类1：
单位名称：	齐齐哈尔大学	学科分类2：
中图分类号1：		所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：
应用行业：		课题立项名称：
国家科技计划子类别：		课题立项编号：	1252G067
经费实际投入额（万元）：	4.00	评价单位：	黑龙江省教育厅
评价形式：	无	应用状态：	无
评价日期：	2013.12.24	转让范围：
评价证书号：		推荐单位：	黑龙江省教育厅
推广形式：	无	成果登记号：	9232016J0981
成果简介：	齐齐哈尔大学苗凤娟的基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制项目采用微电子机械加工技术，以硅基材料为基础，结合传统IC工艺技术，寻找到了一种高选择性、高敏感性、高可靠性、反应迅速、低成本的硅基可集成微型MEMS葡萄糖传感器的制作方法。通过电化学深刻蚀技术作出形状规则和具有较大深宽比的硅微通道（MCP， microchannel plate）阵列，并且结合微通道制作的自分离技术获得三维的壳层结构；以其为支撑骨架，通过无电镀技术将金属镍、钯均匀地沉积于微通道的内壁上，制备出三维Ni-Pd/Si-MCP结构一体化葡萄糖催化氧化电极，该结构的深、宽比可高达50∶1，可以提供较传统平面衬底高出几个数量级的表面积，使电解液更容易与活性物质相接触，更容易进行电荷交换，产生较大的氧化电流；利用该微纳结构复合材料电极组装葡萄糖传感器样机进行封装测试。测试显示该传感器对葡萄糖检测具有较高的灵敏度。　　齐齐哈尔大学苗凤娟的基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制项目通过电化学硅微加工技术探索利用硅基微通道复合电极材料构建新型微纳葡萄糖传感器件，涉及硅微加工、低维半导体异质结、无电镀、电化学、纳米技术和传感器技术等领域。研究关键是利用与IC工艺兼容的无电镀技术和电化学湿法刻蚀技术，在体硅表面制备形状规则的Si-MCP阵列，通过无电镀共沉积和快速热退火工艺制备Pd-Ni/Si-MCP（钯-镍/硅微通道）葡萄糖催化氧化阳极和Pd-NiO-Ni/Si-MCP（钯-金属氧化物/硅微通道）氧还原阴极，最后组装高效葡萄糖传感器。该结构传感器通过综合利用电极纳米尺寸、热电和超级电容器效应，来提高电极催化效率、启动速度和功率密度等性能。　　齐齐哈尔大学苗凤娟的基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制项目有效结合集成电路工艺、硅微加工技术、纳米复合材料催化电极制备和电化学技术，把低维半导体异质结理论应用到溶液/电极接触层电荷迁移与电极催化性能分析中。为新型高效葡萄糖传感器一体化催化电极制备和催化新能分析提供研究思路和理论与实践案例。项目资助期间相关研究成果已经公开发表论文17篇，其中SCI收录论文10篇，中文核心论文7篇。申请专利13项，其中已获授权发明专利1项，获授权实用新型专利12项。获得国家自然科学基金青年基金项目1项，获得黑龙江省普通高校新世纪优秀人才培养计划项目1项。
联系人：	周中林	成果登记日期：	2016-10-18
联系人email：	zzlqqhr@163.com	单位代码：	92300141
邮政编码222：	161006	联系人电话：	0452-2738334
单位传真：	0452-2738743	单位通讯地址：	黑龙江省齐齐哈尔市建华区文化大街42号
单位所在省市：		单位电话：	0452-2824214
转让收入（万元）：	0	单位属性：
合作完成单位：		已转让企业数（个）：	0
成果发布年份：	2016	知识产权形式：
成果完成人：	苗凤娟	资源采集日期：	2017-02-20

基于硅微通道板MEMS葡萄糖传感器的研制

最新科技新闻资讯

热门资讯排行

最新科技图文资讯

友情链接