硅微通道板MEMS结构电化学乙醇传感器研制

成果基本信息
关键词：	硅微通道板;乙醇传感器;电化学;MEMS
成果类别：		技术成熟度：
体现形式（基础理论类）：		体现形式（应用技术类）：	无
成果登记号：	9232016J0976	资源采集日期：	2017-02-20

研究情况
单位名称：	齐齐哈尔大学	技术水平：
评价证书号：		评价单位：	黑龙江省自然科学基金委员会
评价日期：	2013.12.24	评价证书号：

转化情况
转让范围：		推广形式：	无
已转让企业数（个）：	0

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
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成果简介
本项目利用MEMS技术构建Ni-Pd/Si-MCP（镍-钯/硅-微通道）纳米复合结构电极材料，研究其对乙醇浓度的敏感特性，以期制备出效率更高和成本更低的微型一体化乙醇传感器。首先，利用自制的程控电化学刻蚀系统，通过化学溶液湿法腐蚀制备出大比表面积且有较高深宽比的硅微通道板。这种材料的最大优势在于它可以与集成电路工艺有良好的兼容性，并且通道结构有较高的深宽比，这样就可以为活性材料提供较大的活性面积，且通道结构有利于反应溶液的流通。其次，在Si-MCP内壁表面无电镀金属镍纳米薄层，它在增强结构导电能力的同时也使得Si-MCP骨架在反应过程中不被溶液腐蚀；在无电镀金属镍薄层过程中加入痕量金属Pd修饰改性后，发现Ni-Pd /Si-MCP纳米复合电极结构材料对乙醇有更好的催化能力。另一方面退火工艺也影响着Ni-Pd /Si-MCP纳米复合电极结构的稳定性。因此本项目将进一步探索通道尺度、金属材料、无电镀金属层厚度、退火条件等工艺参数；阐明纳米微结构形成规律，探索该结构材料对乙醇敏感的微观机制，寻找进一步提高该结构乙醇传感器敏感性的理论方法和工艺流程，为高效、高性能和低成本一体化电化学乙醇传感器的制备提供理论和实践依据。

成果名称：	硅微通道板MEMS结构电化学乙醇传感器研制	关键词：	硅微通道板;乙醇传感器;电化学;MEMS
成果类别：		一级分类名称：	机械制造
二级分类名称：	仪器仪表技术	三级分类名称：	传感器
研究起止时间：	2012.01 至2013.09	成果体现形式（应用技术类）：	无
成果属性：		成果体现形式（基础理论类）：
技术成熟度：		技术水平：
研究形式：		学科分类1：
单位名称：	齐齐哈尔大学	学科分类2：
中图分类号1：		所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：
应用行业：		课题立项名称：
国家科技计划子类别：		课题立项编号：	QC2011C092
经费实际投入额（万元）：	10.00	评价单位：	黑龙江省自然科学基金委员会
评价形式：	无	应用状态：	无
评价日期：	2013.12.24	转让范围：
评价证书号：		推荐单位：	黑龙江省教育厅
推广形式：	无	成果登记号：	9232016J0976
成果简介：	本项目利用MEMS技术构建Ni-Pd/Si-MCP（镍-钯/硅-微通道）纳米复合结构电极材料，研究其对乙醇浓度的敏感特性，以期制备出效率更高和成本更低的微型一体化乙醇传感器。首先，利用自制的程控电化学刻蚀系统，通过化学溶液湿法腐蚀制备出大比表面积且有较高深宽比的硅微通道板。这种材料的最大优势在于它可以与集成电路工艺有良好的兼容性，并且通道结构有较高的深宽比，这样就可以为活性材料提供较大的活性面积，且通道结构有利于反应溶液的流通。其次，在Si-MCP内壁表面无电镀金属镍纳米薄层，它在增强结构导电能力的同时也使得Si-MCP骨架在反应过程中不被溶液腐蚀；在无电镀金属镍薄层过程中加入痕量金属Pd修饰改性后，发现Ni-Pd /Si-MCP纳米复合电极结构材料对乙醇有更好的催化能力。另一方面退火工艺也影响着Ni-Pd /Si-MCP纳米复合电极结构的稳定性。因此本项目将进一步探索通道尺度、金属材料、无电镀金属层厚度、退火条件等工艺参数；阐明纳米微结构形成规律，探索该结构材料对乙醇敏感的微观机制，寻找进一步提高该结构乙醇传感器敏感性的理论方法和工艺流程，为高效、高性能和低成本一体化电化学乙醇传感器的制备提供理论和实践依据。
联系人：	周中林	成果登记日期：	2016-10-18
联系人email：	zzlqqhr@163.com	单位代码：	92300141
邮政编码222：	161006	联系人电话：	0452-2738334
单位传真：	0452-2738743	单位通讯地址：	黑龙江省齐齐哈尔市建华区文化大街42号
单位所在省市：		单位电话：	0452-2824214
转让收入（万元）：	0	单位属性：
合作完成单位：		已转让企业数（个）：	0
成果发布年份：	2016	知识产权形式：
成果完成人：	苗凤娟;李瑞;邓佳宾;朱磊;张劲松;姚仲敏;陶佰睿	资源采集日期：	2017-02-20

硅微通道板MEMS结构电化学乙醇传感器研制

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