耐深紫外激光辐照特种玻璃

成果基本信息
关键词：
成果类别：	应用技术	技术成熟度：	初期阶段
体现形式（基础理论类）：	论文	体现形式（应用技术类）：	新技术
成果登记号：		资源采集日期：

研究情况
单位名称：	厦门大学	技术水平：	国际领先
评价证书号：		评价单位：
评价日期：		评价证书号：

转化情况
转让范围：	合作开发	推广形式：	合作开发
已转让企业数（个）：

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
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成果简介
一、项目简介耐ArF、F₂深紫外激光辐照特种石英玻璃。 ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。 F₂准分子激光157nm的透过率大于80%。 ArF、F₂深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。二、技术成熟度掌握了控制性能的关键技术。除了纯度以外，OH、H₂含量范围、均匀性的控制及其关键技术。三、应用范围深紫外光刻、光制导等四、投产条件和预期经济效益根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。

成果名称：	耐深紫外激光辐照特种玻璃	关键词：
成果类别：	应用技术	一级分类名称：
二级分类名称：		三级分类名称：
研究起止时间：		成果体现形式（应用技术类）：	新技术
成果属性：	原始性创新	成果体现形式（基础理论类）：	论文
技术成熟度：	初期阶段	技术水平：	国际领先
研究形式：	独立研究	学科分类1：	国家标准GB T13745-92《学科分类与代码》
单位名称：	厦门大学	学科分类2：
中图分类号1：	中国图书资料分类法（第四版）	所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：	国家科技计划
应用行业：	制造业	课题立项名称：
国家科技计划子类别：	高技术研究发展计划（863计划）	课题立项编号：
经费实际投入额（万元）：		评价单位：
评价形式：	鉴定	应用状态：	稳定应用
评价日期：		转让范围：	合作开发
评价证书号：		推荐单位：
推广形式：	合作开发	成果登记号：
成果简介：	一、项目简介耐ArF、F₂深紫外激光辐照特种石英玻璃。 ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。 F₂准分子激光157nm的透过率大于80%。 ArF、F₂深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。二、技术成熟度掌握了控制性能的关键技术。除了纯度以外，OH、H₂含量范围、均匀性的控制及其关键技术。三、应用范围深紫外光刻、光制导等四、投产条件和预期经济效益根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。
联系人：	周忠华	成果登记日期：
联系人email：	zzh@xmu.edu.cn	单位代码：
邮政编码222：		联系人电话：	13656008137
单位传真：	0592-2184606	单位通讯地址：	厦门大学材料学院
单位所在省市：		单位电话：
转让收入（万元）：		单位属性：	独立科研机构
合作完成单位：		已转让企业数（个）：
成果发布年份：		知识产权形式：
成果完成人：		资源采集日期：

耐深紫外激光辐照特种玻璃

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