面向绿色生产的微纳柔性制造的研究与应用

成果基本信息
关键词：	绿色生产;柔性制造;微纳米;结构
成果类别：		技术成熟度：
体现形式（基础理论类）：		体现形式（应用技术类）：	无
成果登记号：	9322017Y0273	资源采集日期：	2018-03-05

研究情况
单位名称：	苏州苏大维格光电科技股份有限公司	技术水平：
评价证书号：		评价单位：
评价日期：		评价证书号：

转化情况
转让范围：		推广形式：	无
已转让企业数（个）：	0

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
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成果简介
主要技术内容：　　本项目是“面向绿色生产的微纳柔性制造”平台技术研发和应用。　　微纳制造技术在柔性电子、新型3D显示、纳米印刷和国防科技等领域发挥重要作用。在微纳米层次上，结构界面与光、电子相互作用，可产生奇特效应，是设计先进材料与功能器件的新途径。如何实现无排放微纳制造是国际性难题。在国家“863计划”先进制造领域重大项目等计划、配套支持下，本项目面向“绿色生产”，设计先进工艺方法与过程，研发微纳装备，攻克“光场调控的纳米光刻、微纳灰度3D直写、柔性纳米压印/转印、微纳增材制造”的关键技术瓶颈，以“模块化、知识密集、可升级和快速配置”的模式，建立柔性创新平台，实现了微纳材料和器件的绿色制造和产业应用，为下一阶段我国柔性光电子产业的创新发展提供了重要技术支撑。　　技术经济指标：　　1、关键技术指标　　（1）综合功能指标。支持微纳结构数字化制造，包括多层图形化金属-介质、单/双面、嵌入型金属-介质和3D形貌等结构。结构：X-Y＞90nm， Z＜50μm，柔性纳米/转印基材厚度＞15μm，面积＜65吋。　　（2）结构光场调控技术。a）纳米光刻设备NanoCrystal，实现了“五维度结构光场”调控（结构尺度、取向、深度），线宽（＞90nm）调制精度1nm！，深度分辨率10nm（变脉冲能量曝光速率5000帧/s）。b）微纳3D直写设备HoloMakerV，发明二元数字光场脉冲叠加曝光模式（数据分辨率100nm），解决了3D形貌高速化灰度直写难题，3D形貌深度0-50μm，本方法比步进灰度光刻提高1个量级以上！填补行业空白。　　（3）柔性纳米压印/转印技术。a）多层图形化结构的纳米印刷。对于红、绿、蓝的微腔（表面吸收层6nm-10nm、间隔层台阶150nm/180nm/215nm），用低表面能柔性模具UV纳米压印/转印，速率达60m/分，寿命＞10万米，实现了批量化微纳图像的设计制造。（b）双面纳米直接压印技术。压印速率8秒@15.6吋～ 20秒@55吋，基材厚度0.15mm-0.3mm@12.3吋@PC@导光板（膜）。通过“遗传算法”优化数据处理、导光均匀度＞89%（13点测试），55吋模具（微透镜）加工仅12小时，比国际先进水平提高2倍。与注塑相比，本成果耗电降低50%，厚度降低30%（材料利用提高30%），光效率提升5%，成本降低30%，可完全替代丝网导光板工艺，无排放！　　（4）微纳增材制造技术。基于纳米压印和深纹直写技术，实现了“嵌入金属-介质”结构的透明导电膜，线宽0.5μm-10um @1300mm，纳米填充/生长速率：30s～2.5分@55吋。透明电极/导电膜的导电率：0.1欧/方-5欧/方@透明度（82%～87%），“镂空透明金属薄膜”电磁屏蔽40dB-50dB@（2GHz-30GHz），无金属蚀刻！与ITO膜相比，导电率提高2个量级，且抗绕曲。上述技术为AMOLED金属镂空掩模、大尺寸电容触控屏和柔性电子材料的核心技术。　　逐步打造了有国际影响的“微纳柔性制造创新平台”，为产业创新、国际科技合作提供了重要发展机会。　　2、主要经济指标：　　已有多种微纳功能材料（器件）、微纳功能器件和部分工艺装备实现产业应用。近两年，完成单位新增销售6.3亿元，近四年新增销售11.5亿元。带动行业新增销售累计达20亿元。　　与国内外高水平机构（企业）的创新合作，逐步在新型显示、柔性电子、教育科研等领域应用。

成果名称：	面向绿色生产的微纳柔性制造的研究与应用	关键词：	绿色生产;柔性制造;微纳米;结构
成果类别：		一级分类名称：	机械制造
二级分类名称：	制造工艺	三级分类名称：	制造工艺
研究起止时间：	2009.01 至2014.12	成果体现形式（应用技术类）：	无
成果属性：		成果体现形式（基础理论类）：
技术成熟度：		技术水平：
研究形式：		学科分类1：
单位名称：	苏州苏大维格光电科技股份有限公司	学科分类2：
中图分类号1：		所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：
应用行业：		课题立项名称：
国家科技计划子类别：		课题立项编号：	2012AA040401
经费实际投入额（万元）：	6794.00	评价单位：
评价形式：	无	应用状态：	无
评价日期：		转让范围：
评价证书号：		推荐单位：	苏州市科学技术局
推广形式：	无	成果登记号：	9322017Y0273
成果简介：	主要技术内容：　　本项目是“面向绿色生产的微纳柔性制造”平台技术研发和应用。　　微纳制造技术在柔性电子、新型3D显示、纳米印刷和国防科技等领域发挥重要作用。在微纳米层次上，结构界面与光、电子相互作用，可产生奇特效应，是设计先进材料与功能器件的新途径。如何实现无排放微纳制造是国际性难题。在国家“863计划”先进制造领域重大项目等计划、配套支持下，本项目面向“绿色生产”，设计先进工艺方法与过程，研发微纳装备，攻克“光场调控的纳米光刻、微纳灰度3D直写、柔性纳米压印/转印、微纳增材制造”的关键技术瓶颈，以“模块化、知识密集、可升级和快速配置”的模式，建立柔性创新平台，实现了微纳材料和器件的绿色制造和产业应用，为下一阶段我国柔性光电子产业的创新发展提供了重要技术支撑。　　技术经济指标：　　1、关键技术指标　　（1）综合功能指标。支持微纳结构数字化制造，包括多层图形化金属-介质、单/双面、嵌入型金属-介质和3D形貌等结构。结构：X-Y＞90nm， Z＜50μm，柔性纳米/转印基材厚度＞15μm，面积＜65吋。　　（2）结构光场调控技术。a）纳米光刻设备NanoCrystal，实现了“五维度结构光场”调控（结构尺度、取向、深度），线宽（＞90nm）调制精度1nm！，深度分辨率10nm（变脉冲能量曝光速率5000帧/s）。b）微纳3D直写设备HoloMakerV，发明二元数字光场脉冲叠加曝光模式（数据分辨率100nm），解决了3D形貌高速化灰度直写难题，3D形貌深度0-50μm，本方法比步进灰度光刻提高1个量级以上！填补行业空白。　　（3）柔性纳米压印/转印技术。a）多层图形化结构的纳米印刷。对于红、绿、蓝的微腔（表面吸收层6nm-10nm、间隔层台阶150nm/180nm/215nm），用低表面能柔性模具UV纳米压印/转印，速率达60m/分，寿命＞10万米，实现了批量化微纳图像的设计制造。（b）双面纳米直接压印技术。压印速率8秒@15.6吋～ 20秒@55吋，基材厚度0.15mm-0.3mm@12.3吋@PC@导光板（膜）。通过“遗传算法”优化数据处理、导光均匀度＞89%（13点测试），55吋模具（微透镜）加工仅12小时，比国际先进水平提高2倍。与注塑相比，本成果耗电降低50%，厚度降低30%（材料利用提高30%），光效率提升5%，成本降低30%，可完全替代丝网导光板工艺，无排放！　　（4）微纳增材制造技术。基于纳米压印和深纹直写技术，实现了“嵌入金属-介质”结构的透明导电膜，线宽0.5μm-10um @1300mm，纳米填充/生长速率：30s～2.5分@55吋。透明电极/导电膜的导电率：0.1欧/方-5欧/方@透明度（82%～87%），“镂空透明金属薄膜”电磁屏蔽40dB-50dB@（2GHz-30GHz），无金属蚀刻！与ITO膜相比，导电率提高2个量级，且抗绕曲。上述技术为AMOLED金属镂空掩模、大尺寸电容触控屏和柔性电子材料的核心技术。　　逐步打造了有国际影响的“微纳柔性制造创新平台”，为产业创新、国际科技合作提供了重要发展机会。　　2、主要经济指标：　　已有多种微纳功能材料（器件）、微纳功能器件和部分工艺装备实现产业应用。近两年，完成单位新增销售6.3亿元，近四年新增销售11.5亿元。带动行业新增销售累计达20亿元。　　与国内外高水平机构（企业）的创新合作，逐步在新型显示、柔性电子、教育科研等领域应用。
联系人：	周小红	成果登记日期：	2017-05-20
联系人email：		单位代码：	93208620
邮政编码222：	215026	联系人电话：	13584861262
单位传真：		单位通讯地址：	江苏省苏州工业园区钟南街478号
单位所在省市：		单位电话：	13584861262
转让收入（万元）：	0	单位属性：
合作完成单位：		已转让企业数（个）：	0
成果发布年份：	2017	知识产权形式：
成果完成人：	陈林森，朱鹏飞，方宗豹，朱昊枢，叶燕，周小红，浦东林，刘艳花，乔文，张瑾	资源采集日期：	2018-03-05

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