氧化锌铝导电靶材与透明导电薄膜

成果基本信息
关键词：
成果类别：	应用技术	技术成熟度：	初期阶段
体现形式（基础理论类）：	论文	体现形式（应用技术类）：	新技术
成果登记号：		资源采集日期：	2015-05-25

研究情况
单位名称：	技术水平：	国内先进
评价证书号：	评价单位：
评价日期：	评价证书号：

转化情况
转让范围：	合作开发	推广形式：	合作开发
已转让企业数（个）：

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
*成果单位详细联系方式请登录会员；还不是会员，马上注册!

成果简介
该成果靶材采用传统电子陶瓷制备工艺制备，工艺简单稳定，成本低，适合规模化生产。采用低温无气氛沉积，然后氩气氛下退火处理工艺制备氧化锌铝（ZAO）薄膜，有效避免了传统方法沉积过程中气氛流动对成膜均匀性、可控制性和重复性的影响，通过氩气氛退火处理使ZAO薄膜晶化，降低薄膜缺陷，削弱晶界影响，提高薄膜的电学性能和光学性能。具体技术指标如下：（1）靶材：电阻率≦10-3Ω•cm)、密度≧98% （2）薄膜：可见光透光率≧ 90 % 电阻率≦5×10-4Ω•cm 方阻≦90Ω 成膜温度：室温介电性能稳定性好，无衰减。该成果中的ZAO透明导电薄膜属于新型透明导电氧化物薄膜(TCO)，它不仅具有良好的光电性能，而且具有原料储量丰富、成本较低、无毒、热稳定性好等优点，可用于平板显示器件（液晶电视、等离子电视、显示器、户外显示屏等）、太阳能电池、保温热镜、建筑保温玻璃窗、防雾玻璃、保温塑料大棚等方面，适合微电子公司、电子功能材料与器件生产企业推广生产。项目负责人/联系人：王华联系电话：0773-2290811

成果名称：		关键词：
成果类别：	应用技术	一级分类名称：	制造工艺
二级分类名称：	制造工艺	三级分类名称：	制造工艺
研究起止时间：		成果体现形式（应用技术类）：	新技术
成果属性：	原始性创新	成果体现形式（基础理论类）：	论文
技术成熟度：	初期阶段	技术水平：	国内先进
研究形式：	独立研究	学科分类1：	国家标准GB T13745-92《学科分类与代码》
单位名称：		学科分类2：
中图分类号1：	中国图书资料分类法（第四版）	所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：	国家科技计划
应用行业：	农、林、牧、渔业	课题立项名称：
国家科技计划子类别：	高技术研究发展计划（863计划）	课题立项编号：
经费实际投入额（万元）：		评价单位：
评价形式：	鉴定	应用状态：	稳定应用
评价日期：		转让范围：	合作开发
评价证书号：		推荐单位：
推广形式：	合作开发	成果登记号：
成果简介：	该成果靶材采用传统电子陶瓷制备工艺制备，工艺简单稳定，成本低，适合规模化生产。采用低温无气氛沉积，然后氩气氛下退火处理工艺制备氧化锌铝（ZAO）薄膜，有效避免了传统方法沉积过程中气氛流动对成膜均匀性、可控制性和重复性的影响，通过氩气氛退火处理使ZAO薄膜晶化，降低薄膜缺陷，削弱晶界影响，提高薄膜的电学性能和光学性能。具体技术指标如下：（1）靶材：电阻率≦10-3Ω•cm)、密度≧98% （2）薄膜：可见光透光率≧ 90 % 电阻率≦5×10-4Ω•cm 方阻≦90Ω 成膜温度：室温介电性能稳定性好，无衰减。该成果中的ZAO透明导电薄膜属于新型透明导电氧化物薄膜(TCO)，它不仅具有良好的光电性能，而且具有原料储量丰富、成本较低、无毒、热稳定性好等优点，可用于平板显示器件（液晶电视、等离子电视、显示器、户外显示屏等）、太阳能电池、保温热镜、建筑保温玻璃窗、防雾玻璃、保温塑料大棚等方面，适合微电子公司、电子功能材料与器件生产企业推广生产。项目负责人/联系人：王华联系电话：0773-2290811
联系人：	王华	成果登记日期：
联系人email：		单位代码：
邮政编码222：		联系人电话：	0773-2290811
单位传真：		单位通讯地址：
单位所在省市：		单位电话：
转让收入（万元）：		单位属性：	大专院校
合作完成单位：		已转让企业数（个）：
成果发布年份：	2015-05-25	知识产权形式：
成果完成人：		资源采集日期：	2015-05-25

氧化锌铝导电靶材与透明导电薄膜

最新科技新闻资讯

热门资讯排行

最新科技图文资讯

友情链接