平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置及其标定和补偿方法

成果基本信息
关键词：	平面子孔径拼接系统;光学标准镜;定位误差;标定装置
成果类别：		技术成熟度：
体现形式（基础理论类）：		体现形式（应用技术类）：	无
成果登记号：	4912018Y0235	资源采集日期：	2019-04-15

研究情况
单位名称：	中国科学院上海光学精密机械研究所	技术水平：
评价证书号：		评价单位：
评价日期：		评价证书号：

转化情况
转让范围：		推广形式：	无
已转让企业数（个）：	0

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
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成果简介
平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置，借助于表面上制作有标记点的光学标准镜，放置于拼接平移台上，拼接位移台控制系统控制拼接平移台(3)带动光学标准镜在平面上进行二维运动，由干涉仪对子孔径数据进行采集并传送至数据处理单元。提取子孔径数据中重叠区域的标记点的位置坐标，利用这些重叠区域标记点的位置坐标将所有子孔径数据统一到同一坐标中，可以有效的对子孔径数据的定位误差进行补偿，提高了子孔径拼接的计算精度。本发明不需要高精度的拼接位移台，对拼接位移台的定位误差也不需要增加昂贵的激光干涉仪测量组件，在提高子孔径拼接测量精度的同时，可以有效的降低子孔径拼接测量装置的成本。

成果名称：	平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置及其标定和补偿方法	关键词：	平面子孔径拼接系统;光学标准镜;定位误差;标定装置
成果类别：		一级分类名称：	机械制造
二级分类名称：	制造工艺	三级分类名称：	公差测量技术
研究起止时间：	2016.01 至2018.03	成果体现形式（应用技术类）：	无
成果属性：		成果体现形式（基础理论类）：
技术成熟度：		技术水平：
研究形式：		学科分类1：
单位名称：	中国科学院上海光学精密机械研究所	学科分类2：	140.30
中图分类号1：		所属高新技术类别：
中图分类号2：	O436.1	课题来源：
应用行业：		课题立项名称：
国家科技计划子类别：		课题立项编号：
经费实际投入额（万元）：	0.00	评价单位：
评价形式：	无	应用状态：	无
评价日期：		转让范围：
评价证书号：		推荐单位：
推广形式：	无	成果登记号：	4912018Y0235
成果简介：	平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置，借助于表面上制作有标记点的光学标准镜，放置于拼接平移台上，拼接位移台控制系统控制拼接平移台(3)带动光学标准镜在平面上进行二维运动，由干涉仪对子孔径数据进行采集并传送至数据处理单元。提取子孔径数据中重叠区域的标记点的位置坐标，利用这些重叠区域标记点的位置坐标将所有子孔径数据统一到同一坐标中，可以有效的对子孔径数据的定位误差进行补偿，提高了子孔径拼接的计算精度。本发明不需要高精度的拼接位移台，对拼接位移台的定位误差也不需要增加昂贵的激光干涉仪测量组件，在提高子孔径拼接测量精度的同时，可以有效的降低子孔径拼接测量装置的成本。
联系人：	刘海涛	成果登记日期：	2018-03-20
联系人email：		单位代码：	93100254
邮政编码222：	201800	联系人电话：	021-69918183
单位传真：	021-69918007;69918800	单位通讯地址：	上海市嘉定区清河路390号
单位所在省市：		单位电话：	021-69918000;69918225
转让收入（万元）：	0	单位属性：
合作完成单位：		已转让企业数（个）：	0
成果发布年份：	2018	知识产权形式：
成果完成人：	卢云君;唐锋;王向朝	资源采集日期：	2019-04-15

平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置及其标定和补偿方法

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