成果基本信息 | ||||||
关键词: | OLED;制造工艺;纳米结构;二氧化硅 | |||||
成果类别: | 技术成熟度: | |||||
体现形式(基础理论类): | 体现形式(应用技术类): | 无 | ||||
成果登记号: | 9612018Y2690 | 资源采集日期: | 2019-04-15 |
研究情况 | |||||
单位名称: | 西安交通大学 | 技术水平: | |||
评价证书号: | 评价单位: | ||||
评价日期: | 评价证书号: |
转化情况 | |||||
转让范围: | 推广形式: | 无 | |||
已转让企业数(个): | 0 |
联系方式 | |||||
联系人(平台): | 玉女士 | 联系人(平台)电话: | 0771-5885053 | ||
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成果简介 | |||||
本发明公开了一种具有亚微米结构的OLED制造工艺,包括下述步骤:(a)制备二氧化硅薄膜:通过磁控溅射在玻璃基片上覆上一层二氧化硅薄膜;(b)二氧化硅图形化:在步骤(a)所述的二氧化硅薄膜上制作纳米图形结构;(c)制作OLED结构阳极:在二氧化硅上均匀旋涂一层ITO导电溶胶,使其作为此OLED结构阳极;(d)在阳极上依次蒸镀空穴输运层,蒸镀发光层及电子输运层,最后蒸镀阴极。本发明的OLED制造工艺,容易便制作出适用于OLED器件的高精度的亚微米级结构,解决了OLED的玻璃上不易图形化的难题,使得导电透明ITO薄膜成膜更为均匀,ITO电极良品率高、出光率高。 |