无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜的制备方法

成果基本信息
关键词：
成果类别：	应用技术	技术成熟度：	初期阶段
体现形式（基础理论类）：	论文	体现形式（应用技术类）：	新技术
成果登记号：		资源采集日期：

研究情况
单位名称：	厦门大学2	技术水平：	国际领先
评价证书号：		评价单位：
评价日期：		评价证书号：

转化情况
转让范围：	产权转让	推广形式：	产权转让
已转让企业数（个）：

联系方式
联系人（平台）：	孵化基地	联系人（平台）电话：	0771-3394012
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成果简介
ZL200810072367.9 无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜的制备方法，涉及一种软磁薄膜材料。提供一种无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜的制备方法。其组成及其按原子百分比的含量为磁性合金或磁性金属：92%~98%，非磁性金属：2%~8%。将基片装入溅射室，安装上铁靶和非磁性金属靶，或铁钴合金靶和非磁性金属靶；开启真空系统进行抽气，直至溅射室本底真空高于5×10-4Pa；基片加热，直至设定基片温度；向溅射室通入反应气体，使靶面起辉并先预溅射，待辉光稳定后，启动基片旋转按钮，打开基片挡板，最后溅射沉积，得无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜。

成果名称：		关键词：
成果类别：	应用技术	一级分类名称：
二级分类名称：		三级分类名称：
研究起止时间：		成果体现形式（应用技术类）：	新技术
成果属性：	原始性创新	成果体现形式（基础理论类）：	论文
技术成熟度：	初期阶段	技术水平：	国际领先
研究形式：	独立研究	学科分类1：	国家标准GB T13745-92《学科分类与代码》
单位名称：	厦门大学2	学科分类2：
中图分类号1：	中国图书资料分类法（第四版）	所属高新技术类别：
中图分类号2：		课题来源：	国家科技计划
应用行业：	农、林、牧、渔业	课题立项名称：
国家科技计划子类别：	高技术研究发展计划（863计划）	课题立项编号：
经费实际投入额（万元）：		评价单位：
评价形式：	鉴定	应用状态：	稳定应用
评价日期：		转让范围：	产权转让
评价证书号：		推荐单位：
推广形式：	产权转让	成果登记号：
成果简介：	ZL200810072367.9 无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜的制备方法，涉及一种软磁薄膜材料。提供一种无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜的制备方法。其组成及其按原子百分比的含量为磁性合金或磁性金属：92%~98%，非磁性金属：2%~8%。将基片装入溅射室，安装上铁靶和非磁性金属靶，或铁钴合金靶和非磁性金属靶；开启真空系统进行抽气，直至溅射室本底真空高于5×10-4Pa；基片加热，直至设定基片温度；向溅射室通入反应气体，使靶面起辉并先预溅射，待辉光稳定后，启动基片旋转按钮，打开基片挡板，最后溅射沉积，得无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜。
联系人：	陈永秀、王金献	成果登记日期：
联系人email：	std@xmu.edu.cn	单位代码：
邮政编码222：	361005	联系人电话：	0592-2185633
单位传真：	0592-2180407	单位通讯地址：	福建省厦门市思明南路422号
单位所在省市：		单位电话：
转让收入（万元）：		单位属性：	独立科研机构
合作完成单位：		已转让企业数（个）：
成果发布年份：		知识产权形式：
成果完成人：		资源采集日期：

无诱导磁场下产生面内单轴磁各向异性的薄膜的制备方法

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