成果基本信息 | ||||||
关键词: | ||||||
成果类别: | 应用技术 | 技术成熟度: | 初期阶段 | |||
体现形式(基础理论类): | 论文 | 体现形式(应用技术类): | 新技术 | |||
成果登记号: | 资源采集日期: |
研究情况 | |||||
单位名称: | 厦门大学 | 技术水平: | 国际领先 | ||
评价证书号: | 评价单位: | ||||
评价日期: | 评价证书号: |
转化情况 | |||||
转让范围: | 合作开发 | 推广形式: | 合作开发 | ||
已转让企业数(个): |
联系方式 | |||||
联系人(平台): | 玉女士 | 联系人(平台)电话: | 0771-5885053 | ||
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成果简介 | |||||
一、项目简介 耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时,玻璃不产生结构缺陷,不发出红色荧光。
二、技术成熟度
掌握了控制性能的关键技术。
除了纯度以外,OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。
三、应用范围
深紫外光刻、光制导等
四、投产条件和预期经济效益
根据要求形状以及尺寸,投产条件不同。 |