成果基本信息 | ||||||
关键词: | 热敏;阵列;柔性;薄膜电阻;制作方法 | |||||
成果类别: | 技术成熟度: | |||||
体现形式(基础理论类): | 体现形式(应用技术类): | 无 | ||||
成果登记号: | 9612016Y1382 | 资源采集日期: | 2017-02-20 |
研究情况 | |||||
单位名称: | 西北工业大学 | 技术水平: | |||
评价证书号: | 评价单位: | ||||
评价日期: | 评价证书号: |
转化情况 | |||||
转让范围: | 推广形式: | 无 | |||
已转让企业数(个): | 0 |
联系方式 | |||||
联系人(平台): | 玉女士 | 联系人(平台)电话: | 0771-5885053 | ||
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成果简介 | |||||
本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层;在其上旋涂PI预聚体,经热固化形成PI薄膜;然后旋涂光刻胶,光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层;采用剥离的方法得到热敏薄膜层图形;之后再旋涂光刻胶,光刻图形化后电镀形成电连接金属层;去胶后可以对热敏电阻进行热处理;最后沉积一层聚对二甲苯保护层,去除牺牲层后得到柔性薄膜电阻阵列。本发明工艺简单,热敏电阻的连接性更为可靠,导线电阻的干扰也较小,使得其作为传感器敏感元件时测量精度大为提高,且能够在保证感器敏感性的条件下,应用于潮湿、水下等环境。 |