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一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法

成果基本信息
关键词: 热敏;阵列;柔性;薄膜电阻;制作方法
成果类别: 技术成熟度:
体现形式(基础理论类): 体现形式(应用技术类):
成果登记号: 9612016Y1382 资源采集日期: 2017-02-20
研究情况
单位名称: 西北工业大学 技术水平:
评价证书号: 评价单位:
评价日期: 评价证书号:
转化情况
转让范围: 推广形式:
已转让企业数(个): 0
联系方式
联系人(平台): 玉女士 联系人(平台)电话: 0771-5885053
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成果简介
  本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层;在其上旋涂PI预聚体,经热固化形成PI薄膜;然后旋涂光刻胶,光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层;采用剥离的方法得到热敏薄膜层图形;之后再旋涂光刻胶,光刻图形化后电镀形成电连接金属层;去胶后可以对热敏电阻进行热处理;最后沉积一层聚对二甲苯保护层,去除牺牲层后得到柔性薄膜电阻阵列。本发明工艺简单,热敏电阻的连接性更为可靠,导线电阻的干扰也较小,使得其作为传感器敏感元件时测量精度大为提高,且能够在保证感器敏感性的条件下,应用于潮湿、水下等环境。
成果名称: 一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法 关键词: 热敏;阵列;柔性;薄膜电阻;制作方法
成果类别: 一级分类名称: 机械制造
二级分类名称: 仪器仪表技术 三级分类名称: 传感器
研究起止时间: 2007.09 至2010.09 成果体现形式(应用技术类):
成果属性: 成果体现形式(基础理论类):
技术成熟度: 技术水平:
研究形式: 学科分类1:
单位名称: 西北工业大学 学科分类2: 510.20
中图分类号1: 所属高新技术类别:
中图分类号2: TN214 课题来源:
应用行业: 课题立项名称:
国家科技计划子类别: 课题立项编号:
经费实际投入额 (万元): 0.00 评价单位:
评价形式: 应用状态:
评价日期: 转让范围:
评价证书号: 推荐单位:
推广形式: 成果登记号: 9612016Y1382
成果简介:   本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层;在其上旋涂PI预聚体,经热固化形成PI薄膜;然后旋涂光刻胶,光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层;采用剥离的方法得到热敏薄膜层图形;之后再旋涂光刻胶,光刻图形化后电镀形成电连接金属层;去胶后可以对热敏电阻进行热处理;最后沉积一层聚对二甲苯保护层,去除牺牲层后得到柔性薄膜电阻阵列。本发明工艺简单,热敏电阻的连接性更为可靠,导线电阻的干扰也较小,使得其作为传感器敏感元件时测量精度大为提高,且能够在保证感器敏感性的条件下,应用于潮湿、水下等环境。
联系人: 姜澄宇 成果登记日期: 2016-10-13
联系人email: 单位代码: 96100044
邮政编码222: 710072 联系人电话: 029-88492256
单位传真: 单位通讯地址: 陕西省西安市碑林区友谊西路127号
单位所在省市: 单位电话: 029-88492273;88494857
转让收入(万元): 0 单位属性:
合作完成单位: 已转让企业数(个): 0
成果发布年份: 2016 知识产权形式:
成果完成人: 姜澄宇;马炳和;傅博;董拴成 资源采集日期: 2017-02-20

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