超精密机械振动控制系统

成果基本信息
关键词：	振动控制;精密机械;光栅刻划机
成果类别：		技术成熟度：
体现形式（基础理论类）：		体现形式（应用技术类）：	无
成果登记号：		资源采集日期：	2017-02-20

研究情况
单位名称：	中国电子工程设计院	技术水平：
评价证书号：	LSzb2015-2664	评价单位：	中国计量科学研究院
评价日期：	2015.12.16	评价证书号：	LSzb2015-2664

转化情况
转让范围：		推广形式：	无
已转让企业数（个）：	0

联系方式
联系人（平台）：	玉女士	联系人（平台）电话：	0771-5885053
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成果简介
本项目根据刻划精度确定了大型高精度衍射光栅刻划机容许振动标准，制定了综合的微振动控制方案，研发了具有承载大、刚度低，阻尼可调等特点的空气弹簧隔振系统，对空调等动力设备实行高效的主动隔振，通过仿真分析手段，采取了合理可行的基础形式，从而有效消减了中高频的振动。从容许振动标准到光栅刻划机隔振、动力设备隔振、基础减振，本项目配合刻划机上部装置的研发进度，层层推进，最终完成了“大型高精度衍射光栅刻划机”隔振系统的研发、设计、制作和安装，建成后实测数据表明该项目达到了高精度衍射光栅刻划机的容许振动标准，保障了刻划机最终完成刻划密度为6000g/mm的重大科技攻关任务。

成果名称：	超精密机械振动控制系统	关键词：	振动控制;精密机械;光栅刻划机
成果类别：		一级分类名称：	机械制造
二级分类名称：	机械学	三级分类名称：
研究起止时间：	2009.12 至2015.10	成果体现形式（应用技术类）：	无
成果属性：		成果体现形式（基础理论类）：
技术成熟度：		技术水平：
研究形式：		学科分类1：
单位名称：	中国电子工程设计院	学科分类2：	610.30
中图分类号1：		所属高新技术类别：
中图分类号2：	TB535	课题来源：
应用行业：		课题立项名称：
国家科技计划子类别：		课题立项编号：
经费实际投入额（万元）：	0.00	评价单位：	中国计量科学研究院
评价形式：	无	应用状态：	无
评价日期：	2015.12.16	转让范围：
评价证书号：	LSzb2015-2664	推荐单位：	中国电子工程设计院
推广形式：	无	成果登记号：
成果简介：	本项目根据刻划精度确定了大型高精度衍射光栅刻划机容许振动标准，制定了综合的微振动控制方案，研发了具有承载大、刚度低，阻尼可调等特点的空气弹簧隔振系统，对空调等动力设备实行高效的主动隔振，通过仿真分析手段，采取了合理可行的基础形式，从而有效消减了中高频的振动。从容许振动标准到光栅刻划机隔振、动力设备隔振、基础减振，本项目配合刻划机上部装置的研发进度，层层推进，最终完成了“大型高精度衍射光栅刻划机”隔振系统的研发、设计、制作和安装，建成后实测数据表明该项目达到了高精度衍射光栅刻划机的容许振动标准，保障了刻划机最终完成刻划密度为6000g/mm的重大科技攻关任务。
联系人：	刘晓颖	成果登记日期：	2016-09-08
联系人email：	liuxiaoying@ceedi.cn	单位代码：	91103718
邮政编码222：	100840	联系人电话：	13810186896
单位传真：	010-68219506	单位通讯地址：	北京市海淀区万寿路27号
单位所在省市：		单位电话：	010-68219506
转让收入（万元）：	0	单位属性：
合作完成单位：		已转让企业数（个）：	0
成果发布年份：	2016	知识产权形式：
成果完成人：	娄宇;俞渭雄;陈骝;夏艳;窦硕;左汉文;孙宁;刘海宏;吕佐超;赵明慧	资源采集日期：	2017-02-20

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