成果基本信息 | ||||||
关键词: | 晶体;超精密;双面研抛机 | |||||
成果类别: | 技术成熟度: | |||||
体现形式(基础理论类): | 体现形式(应用技术类): | 无 | ||||
成果登记号: | 1012017Y0233 | 资源采集日期: | 2018-03-20 |
研究情况 | |||||
单位名称: | 云南飞隆劳尔设备有限公司 | 技术水平: | |||
评价证书号: | 评价单位: | 昆明市科技局项目管理中心 | |||
评价日期: | 2017.02.16 | 评价证书号: |
转化情况 | |||||
转让范围: | 推广形式: | 无 | |||
已转让企业数(个): | 0 |
联系方式 | |||||
联系人(平台): | 玉女士 | 联系人(平台)电话: | 0771-5885053 | ||
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成果简介 | |||||
项目组对晶体精密双面研抛机的总体结构布局、液体静压轴承、水平调整机构、控制系统及制造工艺等进行了研究,完成了项目主要研究内容,并实现批量生产,生产能力达50台套/星期,目前技术水平为国内领先水平。被加工零件主要检测指标: 指标及数值 实际检测数值 加工晶片尺寸 2〞-10〞或手机面板(加工材料为蓝宝石AL2O3 单晶); 被加工晶片表面粗糙度 ≤4nm 4nm 被加工晶片翘曲度 ≤0.003mm 0.002mm 去除效率 ≤0.01mm/30min 0.025/30min |