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物联网用MEMS(微电子机械系统)力学量传感器

成果基本信息
关键词: 力学量传感器;微电子机械系统;物联网;压力传感器;芯片
成果类别: 技术成熟度:
体现形式(基础理论类): 体现形式(应用技术类):
成果登记号: 93A2016Y8047 资源采集日期: 2017-02-20
研究情况
单位名称: 南京高华科技股份有限公司 技术水平:
评价证书号: 评价单位:
评价日期: 2013.03.20 评价证书号:
转化情况
转让范围: 推广形式:
已转让企业数(个): 0
联系方式
联系人(平台): 玉女士 联系人(平台)电话: 0771-5885053
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成果简介
  该项目开展了MEMS压力传感器和加速度传感器关键技术研究和研制,并进行了批量化生产和应用,取得的主要创新点如下:   1)在压力传感器芯片上加载执行器减小了迟滞误差,提高了压力传感器的测量精度,在芯片上设计了屏蔽层,提高了抗电磁干扰能力。   2)利用不锈钢金属膜片低温焊接技术,保证了压力传感器的焊接熔深强度和气密性要求。   3)基于硅通孔的硅晶圆直接键合技术,降低了加速度传感器芯片的封装应力,减小了寄生电容,提高了测量精度。   4)利用传感器芯片引线键合的金丝球焊工艺技术,保证了焊接的可靠性和较高的拉脱力。采用全灌封结构工艺,保障了强冲击、强振动下传感器性能的可靠性。   
成果名称: 物联网用MEMS(微电子机械系统)力学量传感器 关键词: 力学量传感器;微电子机械系统;物联网;压力传感器;芯片
成果类别: 一级分类名称: 机械制造
二级分类名称: 仪器仪表技术 三级分类名称: 传感器
研究起止时间: 2009.03 至2012.12 成果体现形式(应用技术类):
成果属性: 成果体现形式(基础理论类):
技术成熟度: 技术水平:
研究形式: 学科分类1:
单位名称: 南京高华科技股份有限公司 学科分类2:
中图分类号1: 所属高新技术类别:
中图分类号2: 课题来源:
应用行业: 课题立项名称:
国家科技计划子类别: 课题立项编号:
经费实际投入额 (万元): 0.00 评价单位:
评价形式: 应用状态:
评价日期: 2013.03.20 转让范围:
评价证书号: 推荐单位: 南京市科学技术委员会
推广形式: 成果登记号: 93A2016Y8047
成果简介:   该项目开展了MEMS压力传感器和加速度传感器关键技术研究和研制,并进行了批量化生产和应用,取得的主要创新点如下:   1)在压力传感器芯片上加载执行器减小了迟滞误差,提高了压力传感器的测量精度,在芯片上设计了屏蔽层,提高了抗电磁干扰能力。   2)利用不锈钢金属膜片低温焊接技术,保证了压力传感器的焊接熔深强度和气密性要求。   3)基于硅通孔的硅晶圆直接键合技术,降低了加速度传感器芯片的封装应力,减小了寄生电容,提高了测量精度。   4)利用传感器芯片引线键合的金丝球焊工艺技术,保证了焊接的可靠性和较高的拉脱力。采用全灌封结构工艺,保障了强冲击、强振动下传感器性能的可靠性。   
联系人: 宋晓阳 成果登记日期: 2016-05-21
联系人email: 912584180@qq.com 单位代码: 93208384
邮政编码222: 210049 联系人电话: 13814082310
单位传真: 025-85329493 单位通讯地址: 江苏省南京市栖霞区马群科技园神马路2号
单位所在省市: 单位电话: 025-85340040;13814082310
转让收入(万元): 0 单位属性:
合作完成单位: 已转让企业数(个): 0
成果发布年份: 2016 知识产权形式:
成果完成人: 李维平;佘德群;黄标;陈新;管武干;高扬;周强 资源采集日期: 2017-02-20

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